Algunos tipos de dispositivos usados en automatización de procesos son, junto con otros, aplicados en la fabricación de semiconductores, así como caudalímetros y bombas de vacío.
La organización internacional de materiales y equipamientos semiconductores especifica un estándar de dispositivo específico (SECS, Semiconductor Equipment Communication Standard, equipamiento semiconductor de comunicación estándar) con los que el perfil de aplicación PROFIBUS es compatible.
SEMI se estructura en 4 partes (definiciones generales, controladores de caudal de masas, indicadores de presiones de vacío y bombas de vacío)
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